熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式質(zhì)量流量計(jì)（Theermal Mass flowmeters,簡稱TMF）在國內(nèi)習(xí)慣稱為熱式流量計(jì)，是利用流體流過外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測和控制等特點(diǎn)。
1.托馬斯流量計(jì)
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)
浸入型TMF是在原來熱線接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種堅(jiān)固型熱式質(zhì)量流量計(jì)，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應(yīng)用的堅(jiān)固的高可靠性傳感器，近二十多年來得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來測量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來發(fā)展起來的測量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測量。
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的使用
a.選擇測量范圍和口徑，熱分布型TMF傳感器中的流速很低，基型傳感器僅0.02~0.05m/s，層流旁路的分流型傳感器也只有0.1~2m/s，所以，選用這類儀表的口徑要比工藝管道大。
b.對不同氣體的流量換算，通常儀表在常溫常壓下用空氣標(biāo)定，當(dāng)被測氣體的比定壓熱容和熱傳導(dǎo)系數(shù)與空氣不一致時(shí)應(yīng)作必要的修正。修正的方法有兩種，一是制造廠直接給出轉(zhuǎn)換系數(shù)話F（以空氣為1）修正；二是直接以標(biāo)定氣體和使用其他的摩爾比定壓熱容比進(jìn)行修正。表6-4為若干氣體按比定壓熱容比計(jì)算和若干制造廠提供的轉(zhuǎn)換系數(shù)的比較。
對于同一氣體，如果溫度、壓力變化很大，則摩爾比定壓熱容的變化也不能忽視，也需進(jìn)行修正。
c.安裝。熱分布型TMF以熱傳遞為工作原理，與測量管內(nèi)的流速分布無關(guān)。因此也無上下游直管段的要求。直管型測量管的儀表只能水平安裝，水平度應(yīng)符合制造廠的有關(guān)規(guī)定，以免發(fā)生額外測量誤差。
4.邊界層流量計(jì)
① 邊界層流量計(jì)測量原理
② 邊界層流量計(jì)存在的問題
